超聲波作爲能量存在於液體中作爲替代性的稀疏波和液體本身的壓縮。在稀疏过程中，形成小型真空腔，然后破溃，或内爆。在压缩过程中，这种持续和快速的过程，称为空穴作用，是用于提供更好清洗效果的超声波擦洗过程。

        有三个要素作用于该擦洗过程：

      （1）液体脱脂的程度

      （2）超声波频率

      （3）在特定温度下的清洗液的化学特性

        排气是清除液体中不需要的空气。由于气穴的形成，他们充满了不必要的空气泡沫以抗击破溃，并悬浮在液体中。这些气泡充当了“减震器”，这必然减少了清洗效率。空气量可以通过定期转换而减少或调制，全部的能量使相邻的气泡凝聚，浮到液体表面，并逸出。该调制方式是重要的，对于脱气和清洗效率之间的正确平衡，必须选择于每个清洗应用。

        频率决定了空穴的大小以影响清洗的效率。如发出低频率25千赫，能产生较大，但相对较少的空穴。高频率产生了众多的小的空穴，并具有良好的渗透和穿透能力。选择正确的频率区间是困难的，因为每个清洗应用各不相同。频率也会影响脱气过程，目前市面上主流选择以20和40千赫为主。